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真空泵 真空泵

真空泵

向下滾動(dòng)

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RUVAC WS/WSU

Leybold RUVAC WS 羅茨泵由風(fēng)冷式或水冷式罐裝電機(jī)驅(qū)動(dòng)。泵可選配變頻器,因此排除了其機(jī)械過(guò)載的可能性。如果壓差過(guò)高,泵的轉(zhuǎn)速會(huì)自動(dòng)降低,直到達(dá)到其合適負(fù)載為止。RUVAC WSU 系列羅茨真空泵配有額外的集成旁通管路和旁通閥。泵可選擇垂直流/水平流,從而調(diào)節(jié)進(jìn)排氣口方向。出廠標(biāo)準(zhǔn)為垂直流。

  • 適用于在 10-2 至 10-4 mbar(0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr)壓力范圍內(nèi)需要高抽速的應(yīng)用
  • 在必須避免因空氣進(jìn)入或抽取的介質(zhì)泄漏而可能造成污染的情況下使用
  • 吸入或抽取高純度氣體
  • 在不得由電機(jī)風(fēng)扇循環(huán)通風(fēng)的潔凈室中使用

RUVAC 羅茨泵是low-e鍍膜行業(yè)中的標(biāo)配設(shè)備。當(dāng)與現(xiàn)有的油封 SOGEVAC 泵結(jié)合使用時(shí),它們可在進(jìn)出樣室中實(shí)現(xiàn)較短的抽氣時(shí)間。當(dāng)與干式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵結(jié)合使用時(shí),它們可確保在工藝室中實(shí)現(xiàn)干燥、可靠和無(wú)故障的真空。

RUVAC 羅茨泵應(yīng)用廣泛,可在特別需要快速抽空的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)盡可能短的周期時(shí)間,例如在進(jìn)出樣室或高速食品包裝中。

RUVAC 羅茨泵在鍍膜工藝流程前可快速達(dá)到低于 10-3 mbar 的壓力,抽空燈具和絕緣表面,滿足工藝要求。

RUVAC 羅茨泵還在長(zhǎng)晶設(shè)備中用于制造單晶硅,單晶硅是制造半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池的基本材料。我們很樂(lè)意為您提供我們廣泛的產(chǎn)品以及應(yīng)用支持和專業(yè)技術(shù)。

標(biāo)簽:RUVAC WS/WSU

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