隨著我國空間科學技術的發展，真空測量技術也得到長足進步，已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發展，對真空測量提出了更高的要求，相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。
真空系統校準裝置的設計組成
為滿足航天器熱試驗常用真空計及標準漏孔的校準需要，研制了多功能真空校準裝置。多功能真空校準裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規、電容薄膜真空規、潘寧規、熱陰極電離規等真空測量傳感器的校準，同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。
1、裝置概述
多功能真空校準裝置主要由高真空校準室、低真空校準室/ 穩壓室、真空抽氣系統、漏孔校準系統、電氣控制及信號采集系統組成。
真空系統校準裝置的主要性能指標：
極限真空度
高真空校準室極限真空度9.3×10-8 Pa，下游室極限真空度1.1×10-8 Pa，低真空校準穩壓室極限真空度4.2×10-7 Pa。
2、校準真空室動態真空度穩定性能
根據相關國家標準對本裝置校準范圍內的校準室在進行動態比對校準時的真空度穩定性能進行檢測，從133kPa～9.5×10-5 Pa 范圍內選擇20 個壓力點，每個檢測點停留5 分鐘，測試結果表明在133kPa～9.5×10-2 Pa 范圍內，穩定度可控制在2%以內， 在9×10-2 Pa～9.5×10-5 Pa 范圍內，穩定度可控制在1%以內。
3、系統不確定度分析
綜合考慮GP370 離子規的不確定度指標和校準裝置的固有特性，系統裝置標準不確定度為4.2%，數據處理引入的不確定度為0.5%，整個裝置的合成不確定度為4.3%， 擴展不確定度為8.6%。
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